研課題
J-GLOBAL ID:202104015261727619  研究課題コード:17940415

多層エレクトレット集積型CMOS-MEMS振動発電素子の創製

体系的課題番号:JPMJPR17R9
実施期間:2017 - 2020
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 科学技術創成研究院未来産業技術研究所, 助教 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJPR17R9
研究概要:
本研究では、エレクトレット実装技術とCMOS-MEMS技術を融合し、環境振動エネルギーをmW級の電気エネルギーに変換する小型振動発電デバイスの実現を目指します。多層エレクトレットと高密度メタル可動電極および周辺回路・センサを集積化することで、無線通信可能な自己給電型環境センサ応用に向けた、新たな振動発電素子を実現します。
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
上位研究課題: 微小エネルギーを利用した革新的な環境発電技術の創出
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構
報告書等:

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