ハイアスペクト形状の精密座標測定を可能とする回転振動型ハイアスペクトタッチプローブの開発

実施期間：2012 - 2013
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 機械部, その他 )
研究概要：

本開発は三次元測定機や機上測定に代表される、精密座標測定に用いるタッチプローブのハイアスペクト化に関する。タッチプローブは細長い形状程、測定可能な領域が増える一方、測定力によるプローブ撓みの影響のため、一般的にハイアスペクト化が困難である。本研究では、タッチプローブ先端にサブミクロン程度の径で円周運動する振動モードを生成し、接触による振動変化により高感度に接触を検出するハイアスペクト形状の超音波タッチプローブを開発した。具体的には、目標形状の先端径1.0mm、プローブ軸径0.7mm、長さ50mmのプローブ形状で、接触検出位置の繰り返し精度(2シグマ)が1.3マイクロメートルの結果を得た。

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研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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