研課題
J-GLOBAL ID：202104015654925676  研究課題コード：15668154

高速回転式ミストCVD装置の実用化に向けた最適化研究

体系的課題番号：JPMJTM15K1
実施期間：2015 - 2016
実施機関 (1件)：
熊本大学

熊本大学 について


研究責任者：
中村 有水

中村 有水 について

(
熊本大学

熊本大学 について

, 大学院自然科学研究科(工), 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM15K1
タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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高速回転

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, 
ミストCVD

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実用化

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最適化

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研究制度：
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研究所管機関：
国立研究開発法人科学技術振興機構

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