研課題
J-GLOBAL ID：202104015666344245  研究課題コード：09151559

レジスト除去用大気圧誘導結合プラズマ装置開発

実施期間：2009 - 2010
実施機関 (1件)：
リバーベル株式会社

リバーベル株式会社 について


企業責任者：
リバーベル株式会社

リバーベル株式会社 について


タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
レジスト

レジスト について

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大気圧

大気圧 について

, 
誘導結合プラズマ

誘導結合プラズマ について

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開発

開発 について

研究制度：
産学が連携した研究開発成果の展開

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研究所管機関：
国立研究開発法人科学技術振興機構

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