酸素増感-真空紫外微細加工によるボトムアップ金属微細配線

実施期間：2006 - 2006
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院工学研究科, 教授 )
研究概要：

高分子表面の酸素増感真空紫外(Vacuum Ultra-Violet,VUV)露光による化学活性化により、選択的金属析出を誘起し微細金属配線を形成する.従来の光微細加工技術では必要不可欠であったフォトレジスト工程を不要とし、加工工程を大幅に短縮する。また、ボトムアップ(必要な場所へ必要なだけ物質を供給する)・アプローチによる、省資源性の高い微細加工技術を提供する.技術的な有効性は確認できているが、本申請では、再現性のある実用技術を開発するために、反応機構の解明に基づく最適な加工プロセスの設計を目標とする.

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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