研課題
J-GLOBAL ID：202104015815497963  研究課題コード：18088862

MEMS用超高性能単結晶PZT系薄膜の量産化と高信頼性付与に関する研究

体系的課題番号：JPMJTM18E5
実施期間：2018 -
実施機関 (1件)：
東北大学

東北大学 について


研究代表者：
吉田 慎哉

吉田 慎哉 について

(
東北大学

東北大学 について

, 工学研究科, 特任准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM18E5
タイトルに関連する用語 (8件)：
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研究制度：
産学が連携した研究開発成果の展開

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研究所管機関：
国立研究開発法人科学技術振興機構

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