マイクロ音響素子用金属ガラス薄膜の開発

体系的課題番号：JPMJTM19E7
実施期間：2019 - 2020
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 材料科学高等研究所, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM19E7
研究概要：

本研究では高強度で低ヤング率というユニークな機械的性質を示す金属ガラスをダイアフラムとすることにより、既存の多結晶シリコンダイアフラムでは達成しえない高性能なMEMSマイクロフォンを実現する。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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