研課題
J-GLOBAL ID:202104015986694821
研究課題コード:08069462
1アトリットルの超微少量堆積塗付装置の開発
実施期間:2008 - 2008
実施機関 (1件):
研究代表者:
(
, 工学部 機械工学科, 准教授 )
研究概要:
レーザートラップ技術による微小物の捕捉・移動技術と、基板への固定技術を組み合わせた微小物配置技術を検討する。諸条件の最適化により高速かつ安定な堆積条件を見出す。
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
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研究所管機関:
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