ナノダイヤモンド/アモルファスカーボン複合膜の高温用ヒートシンクへの応用

実施期間：2008 - 2008
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院総合理工学研究院融合創造理工学部門, 准教授 )
研究概要：

半導体素子とヒートシンク間の密着性と放熱性向上には、熱膨張係数が小さく、熱伝導率が高く、導電率を制御できるヒートシンク材料が望まれる。ナノダイヤモンド膜は、ダイヤモンドナノ粒子が非晶質炭素膜に分散した新しいナノ構造複合膜である。本研究においては、熱膨張係数と導電率を制御して作製した膜の熱伝導率を評価し、高温パワーデバイス用ヒートシンクを開発することを目的とする。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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