研課題
J-GLOBAL ID:202104016431528302  研究課題コード:17943353

セルロース配合研磨液-ダイヤ/チタニア/セリア/セルロース四元複合粒子を用いたパワー半導体超平面創成材の開発

体系的課題番号:JPMJTM1714
実施期間:2017 -
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , その他部局等, 研究主幹 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM1714
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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