研課題
J-GLOBAL ID：202104016468294816  研究課題コード：16808661

高密度で微細粒なIGZO用スパッタリングターゲット材の開発

体系的課題番号：JPMJTM16AF
実施期間：2016 - 2016
実施機関 (1件)：
地方独立行政法人北海道立総合研究機構

地方独立行政法人北海道立総合研究機構 について


研究責任者：
中嶋 快雄

中嶋 快雄 について

(
地方独立行政法人北海道立総合研究機構

地方独立行政法人北海道立総合研究機構 について

, 産業技術研究本部工業試験場, 研究主任 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM16AF
タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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高密度

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微細粒

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IGZO

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スパッタリングターゲット材

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開発

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研究制度：
産学が連携した研究開発成果の展開

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研究所管機関：
国立研究開発法人科学技術振興機構

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