超高感度Au錘3軸MEMS加速度センサにおける容量オフセット削減技術の研究

体系的課題番号：JPMJTM20N3
実施期間：2021 - 2021
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 科学技術創成研究院ナノセンシング研究ユニット, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM20N3
研究概要：

Au(金)錘3軸MEMS加速度センサにおける初期容量のオフセットを削減する回路技術を実現する。特許技術であるΔΣ型容量・デジタル変換器を活用し、さらに低雑音な実装技術を確立することにより、従来の3軸MEMS加速度センサが未踏の感度(雑音フロア)である10μG/√Hz未満の実現を目指す。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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