導電性ダイヤモンドコーティングを付加した新しい放電加工システムの開発

機械分野・環境分野・化学分野など様々な分野で微細深穴加工ニーズは高く、年々高アスペクト比の要求が高まり、従来から適用されてきた切削加工では対応できない領域に入っている。微細穴加工では、耐熱性、高熱伝導率、低熱膨張係数等を有する導電性ダイヤモンドを電極とする放電加工が有力視されているが、熱加工法のため、加工変質層除去のための磨き等二次加工を必要とする点や、ダイヤモンド単体のため、相当のコスト高となる点が大きな課題となっている。 本提案では、タングステン等市販金属電極表面に導電性ダイヤモンドを電極ヘッドから取り外すことなくコーティングする装置を開発することで、プロセス精度を確保したまま、コーティング後連続的な放電加工を実現するものである。具体的には、研究代表者らが保有する技術蓄積を活用して、低価格高効率ダイヤモンドコーティング装置を新たに設計・製作するとともに、市販のタングステン電極表面へのダイヤモンドコーティングの最適化を図り、極めて消耗の少ない放電加工用電極をプロセス内で生成させる。また、放電加工終了後、引き続き同一放電加工機上でダイヤモンドコーティング部を工具として用い、熱影響層の研削除去および最終ラッピング仕上げまでを一気に行う高効率高精度微細穴加工システムを実現しようとするものである。最少電極の開発の目標は0.02mmφ×5mmL、コーティング後の先端の振れ精度±3μm以内

国立研究開発法人科学技術振興機構