研課題
J-GLOBAL ID:202104016834877960  研究課題コード:09157082

MEMS技術を利用した超小型真空計の開発

実施期間:2009 - 2009
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 理工学部, 教授 )
研究概要:
本研究では、赤外線センサなど真空パッケージ評価や分析装置内の微小空間の真空度を0.01Pa~10000Paの範囲で計測することできる1mm角以内の大きさの超小型熱伝導方式マイクロ真空計を開発する。この超小型真空計を用いることで、真空封止されたマイクロデバイスの信頼性試験データの取得が可能になり、局所的に真空度をコントロールする必要のある分析装置への適用が期待できる。さらに、量産性のあるMEMS技術を利用することから、従来の真空計の代替品としての普及も期待できる
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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