フッ素ゴムの気体透過低減コーティングの研究開発

実施期間：2009 - 2009
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 中部センターサステナブルマテリアル研究部門, 研究グループ長 )
研究概要：

フッ素ゴムは種々の真空装置に広く用いられている。フッ素ゴムの気体透過率を低減出来れば、到達真空度や排気速度の向上し、不純物低減やプロセス時間短縮が出来る。気体透過率低減技術としては、既にダイヤモンド状炭素(DLC)膜形成が実用化されているが、フッ素ゴムではその透過率低減効果は僅かしかない。それは、フッ素ゴム表面の分子間に大きな隙間があるためである。本課題では、隙間を埋める工夫とより低温でDLC成膜する技術を開発する。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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