耐振動性・高精度・広ダイナミックレンジを持つ非接触表面形状測定装置の試作

実施期間：2010 - 2010
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 工学(系)研究科(研究院), 助教 )
研究概要：

光干渉法は、非接触で対象物体の表面形状を数ナノメートルの精度で計測することができる。一般に、光干渉を用いた表面形状計測方法は外乱振動に弱いという欠点があるが、本課題では外乱振動に強い方法(ドップラー位相シフトディジタルホログラフィ)を用い、例えば工場の生産ラインにおいても適用可能であることを実証した。その方法の光学系は、光学除振台ではなく、耐振動環境ではない場所に設置し、振動環境下においても適用可能であることを確認した。さらに、通常の光干渉法では測定できない規模の表面段差を有する物体も測定可能とするため、二波長同時照射によって段差測定のダイナミックレンジを広げることを検討した。

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研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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