研課題
J-GLOBAL ID:202104017221852243  研究課題コード:13423553

超高速・超低消費電力LSI向けナノ界面制御超低抵抗率Cu配線技術の確立

実施期間:2014 -
実施機関 (2件):
企業責任者:
研究責任者: ( , 工学部, 教授 )
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

前のページに戻る