研課題
J-GLOBAL ID：202104017228030923
研究課題コード：20218003
高輝度EUV放射のための中赤外および近赤外レーザーオプティクス
体系的課題番号：JPMJSC2009
実施期間：2020 - 2023
実施機関 (1件)：
研究代表者：
(
, 大学院理学系研究科, 教授 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJSC2009
研究概要：
本研究は、極端紫外領域波(13-2nm)の高次高調波を高輝度で発生するために必要となる中赤外および近赤外波長領域の光学素子の開発、中赤外レーザー発振・増幅・波長変換などの技術開発、そして、高次高調波発生装置の開発を目的とする。具体的には、日本側チームは波長1.6μm帯および2.4μm帯の中赤外領域における光学素子の開発とフェムト秒レーザーの発振・増幅技術の開発、さらには、近赤外パルスの中赤外パルスへの波長変換技術の開発を行う。ドイツ側チームは、高次高調波発生用ガスセルとファイバーレーザーによる高次高調波発生技術の開発を行う。両国チームによる共同研究を通じて、高輝度中赤外レーザーパルスを用いた高次高調波光源が実現され、高輝度高次高調波の最先端物質科学分野への応用が期待される。
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オプティクス・フォトニクス
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