複合型走査型非線形誘電率顕微鏡の開発

体系的課題番号：JPMJSN04AA
実施期間：2004 - 2008
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 電気通信研究所, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN04AA
研究概要：

静電容量変化に対する高い感度とサブナノメータの空間分解能を持ち、線形・非線形誘電率の分布が計測可能な走査型非線形誘電率顕微鏡(SNDM)法を発展させ、従来にない高機能複合型SNDMシステムを開発します。この開発により、誘電材料中の分極、半導体中の電荷および高分子や生体の誘電特性とそれらに固定された電荷などが世界最高の性能で可視化できるようになり、種々の材料・素子の評価・分析に大きく貢献します。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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