研課題
J-GLOBAL ID:202104017700256353
研究課題コード:09158272
ツインプローブ顕微鏡による局所電子物性評価装置の開発
実施期間:2009 - 2009
実施機関 (1件):
研究代表者:
(
, 大学院工学研究科, 助教 )
研究概要:
ナノスケールサイズで組み込まれた高性能デバイスの評価手法として、二探針を有する(ツイン)プローブ顕微鏡を応用したナノスケール電子物性評価の手法および装置の開発を行う。本研究装置の大きな特徴は、互いのプローブに働く相互作用力を逐次検出し、その間隔が精密に制御された状態下において、プローバ間での極微小な電圧-電流計測(局所電子物性評価)を行えることにある。
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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