ツインプローブ顕微鏡による局所電子物性評価装置の開発

実施期間：2009 - 2009
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院工学研究科, 助教 )
研究概要：

ナノスケールサイズで組み込まれた高性能デバイスの評価手法として、二探針を有する(ツイン)プローブ顕微鏡を応用したナノスケール電子物性評価の手法および装置の開発を行う。本研究装置の大きな特徴は、互いのプローブに働く相互作用力を逐次検出し、その間隔が精密に制御された状態下において、プローバ間での極微小な電圧-電流計測(局所電子物性評価)を行えることにある。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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