テラヘルツ・プロファイロメトリーの開発

実施期間：2008 - 2008
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院基礎工学研究科, 助手 )
研究概要：

表面形状測定(プロファイロメトリー)は工業製品の品質評価を始めとした様々な分野で幅広く利用されているが、従来の光学的手法では表面が粗面の物体(金属粗面、樹脂製品など)を計測することは強い光散乱のため困難であった。本研究では、光波と電波の境界に位置するパルス状テラヘルツ波の自由空間伝搬・コヒーレントビーム・超短パルス特性いった特徴に加え、波長が極めて長いことに起因する低散乱性を利用することにより、粗面物体の表面形状測定が可能なTHzプロファイロメトリーを開発する。

研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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