クリーンルーム内の汚染物質を選択的に検出する分子ふるいセンサ

実施期間：2006 - 2006
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 工学部, 助教授 )
研究概要：

新規性・独創性無機表面にnmより小さい形状選択的反応場を実現する技術は唯一。実用化の可能性クリーンルームメーカーとの連携により、直ちに商品化可能。内容と目標実験室では成功。シリコン基板上のセンサチップによって数ppmの溶剤共存下で数ppbのDAPを検出するセンサを開発する。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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