波長角度同時分散型時分割X線反射率計の開発

体系的課題番号：JPMJSN10BA
実施期間：2010 - 2013
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 物質構造科学研究所, ダイアモンドフェロー、名誉教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN10BA
研究概要：

薄膜の厚さ、薄膜表面垂線方向の精密電子分布、表面・界面の粗さなどのナノ~サブナノメートルスケールでの構造評価に広く利用されているX線反射率測定法において反射率曲線全体を同時にかつサブ秒~ミリ秒の時間分解能で連続的に測定できる新しい時分割X線反射率計を開発します。これにより薄膜などにおける環境の急激な変化や外的刺激による構造変化の実時間追跡を可能とし、機能性薄膜や表面・界面での機能出現と構造変化の関連を動的に研究する手段を提供します。

, , ,

研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

前のページに戻る