研課題
J-GLOBAL ID:202104018025806906
研究課題コード:08000617
枚葉式スピン洗浄装置用完全純水駆動ウォータドライブスピンテーブルの開発
実施期間:2007 - 2007
実施機関 (1件):
研究代表者:
(
, 工学部, 教授 )
研究概要:
ウォータドライブスピンテーブルは,回転テーブルが純水の圧力によって浮上するため,テーブルとケーシングは完全非接触となる.しかも,本装置は,純水のエネルギーを利用してテーブルを回転させる構造を有するため,電動機や伝導要素が不要である.ウォータドライブスピンテーブルの主たる用途は,特に,線幅45 nm以下のシリコンウエハーの洗浄に必要不可欠と考えられている,枚葉式スピン洗浄装置用スピンテーブルである.
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