研課題
J-GLOBAL ID:202104018058794164  研究課題コード:7700005276

金属ペーストを用いたカーボンナノチューブ生成によるパターン配線の形成

実施期間:2006 - 2006
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , レーザー・ナノテク研究室, 主任研究員 )
研究概要:
焼結により金属ナノ粒子を析出する導電ペーストをカーボンナノチューブ(CNT)の成長触媒に利用することにより、基板上に金属/CNT の2層構造の導体を形成する。これにより、低抵抗、低発熱の電子/電気配線用導体薄膜の形成手法を開発する。
タイトルに関連する用語 (2件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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