高効率かつ低コストな次世代リソグラフィー光源開発のための評価技術の確立

実施期間：2012 - 2013
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 大学院総合理工学研究院, 助教 )
研究概要：

次世代の半導体リソグラフィー用光源として期待される極端紫外(EUV)光源は、現状では使用する光の波長13.5 nmの発光効率が低く、実用化の障害となっている。EUV光の効率向上には、発光効率を支配するEUV光源用プラズマの電子温度や電子密度、イオン密度の計測を行う必要がある。本課題ではトムソン散乱法による、EUV光源用プラズマの電子密度・電子温度・イオン密度計測を試みた。様々なノイズ信号を除去し、微弱なトムソン散乱信号を検出するために、新たに高波長分解能分光器を作製した。これにより、トムソン散乱スペクトルを十分な精度で観測し、各パラメータの決定を可能とした。

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研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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