超汎用型 SEM用球面収差(Cs)/色収差(Cc)補正器の開発

体系的課題番号：JPMJSN16B6
実施期間：2016 - 2018
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , その他部局等, 上級研究員 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN16B6
研究概要：

走査電子顕微鏡に装着し、球面収差と色収差を同時に補正することで高分解能化できる日本発の電界型コレクタを開発する。顕微鏡の加速電圧やレンズ先端との距離の変更にも対応でき、焦点深度を拡大することで、多様な試料の観察を可能とする。さらに、操作性を向上することにより、広く世界に普及しうる革新的な要素技術の創出を目指す。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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超汎用型 SEM用 球面収差(Cs)/色収差(Cc)補正器の開発

超汎用型 SEM用球面収差(Cs)/色収差(Cc)補正器の開発