研課題
J-GLOBAL ID:202104018310689522
研究課題コード:12101420
超低消費電力型磁気記録装置の開発に役立つ強磁性・強誘電薄膜の磁気・電気特性同時評価システムの開発
実施期間:2012 - 2013
実施機関 (1件):
研究責任者:
(
, 大学院工学資源学研究科 附属理工学研究センター, 准教授 )
研究概要:
強磁性・強誘電薄膜を用いた超低消費電力型磁気記録装置、および強磁性・強誘電薄膜の磁気・電気特性同時評価システムの実現性を検証するために必要不可欠な、以下の最重要項目の実現に成功した。1.強磁性・強誘電性薄膜をスパッタリングでも高品位に作製するプラズマ照射プロセスの確立、2.作製した本薄膜における微小領域での電界書込み磁気記録の実証、3.本薄膜に透明上部電極を形成した、強磁性・強誘電薄膜に電界印加が可能な積層構造素子膜における、磁気カー効果測定による磁気特性の測定。本結果は、計画したほとんど全ての項目を達成したものであり、すでに関連メーカーと本装置およびシステムの構築に向けて議論を進めており、今後の研究開発資金の獲得状況次第で、プロトタイプ機等の作製に取りかかる合意が得られている。
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