研課題
J-GLOBAL ID:202104018648213132  研究課題コード:10102309

フェムト秒レーザーによるナノ格子加工技術の開発

実施期間:2010 - 2010
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , エネルギー理工学研究所, 教授 )
研究概要:
フェムト秒レーザーを用いて誘電体と半導体の表面に高精度にナノ格子を形成するためのレーザーナノプロセッシング手法を開発することを目標として研究を行った。特に、2光束干渉を用いて作成したDLC表面をダウンサイジングすることにより、ほぼ目標仕様の直線性に優れたナノ格子の加工を実現した。また、物性の異なる数種類の半導体について、ナノ周期構造を形成するための条件を解明した。その結果、当初目標の80 %程度を達成した。今後、得られた新知見と手法を基に、fsレーザーによる半導体表面のナノ格子加工法の実用化に向けた研究開発を進める。
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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