室温原子層堆積法による金属酸化物ナノコーティング技術の事業化

体系的課題番号：JPMJST1619
実施期間：2016 - 2018
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院理工学研究科, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJST1619
研究概要：

本プロジェクトでは、室温(無加熱)で、金属酸化物(セラミック等)を、多種の素材からなる複雑形状の対象物に、ナノメートル単位で均一にコーティングすることができる小型コーティング装置を開発する。本技術により、製造装置の内部や、精密部品・有機エレクトロニクス部材などへのコーティングサービスを提供するベンチャーの設立を目指す。

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研究制度：＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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