研課題
J-GLOBAL ID:202104018668894268  研究課題コード:16817488

室温原子層堆積法による金属酸化物ナノコーティング技術の事業化

体系的課題番号:JPMJST1619
実施期間:2016 - 2018
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 大学院理工学研究科, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJST1619
研究概要:
本プロジェクトでは、室温(無加熱)で、金属酸化物(セラミック等)を、多種の素材からなる複雑形状の対象物に、ナノメートル単位で均一にコーティングすることができる小型コーティング装置を開発する。本技術により、製造装置の内部や、精密部品・有機エレクトロニクス部材などへのコーティングサービスを提供するベンチャーの設立を目指す。
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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