研課題
J-GLOBAL ID:202104018834969611
研究課題コード:7700107122
フォトニック結晶によるコントローラブル光デバイスの研究開発
実施期間:2002 - 2005
実施機関 (1件):
研究責任者:
( 名誉教授 )
研究概要:
新規「自己クローニング」プロセスによって凹凸ナノ構造を周期的に積層した「フォトニック結晶」の製造技術を開発し、光通信用「偏光モニタ」に最適化した「フォトニック結晶」を基幹部品とする小型(従来比1/10)高精度(数倍)「偏光(SOP)モニタ」モジュールを開発した。更に同様な集積化「フォトニック結晶」を応用した膜厚計測用「エリプソメータ」を試作し高性能特性を確認した。
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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