複数波長レーザを用いた厚板および大口径サファイアの熱応力割断技術の開発

体系的課題番号：JPMJTM19F7
実施期間：2019 - 2020
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 設計製造技術研究所, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM19F7
研究概要：

波長が異なる複数のレーザを用い,試料内部に形成される熱応力場を制御し,厚さが30 mm以上の平板,直径が30 mm以上の円筒のサファイア結晶を,高歩留まり,高速・高精度で細分化するレーザ割断技術を確立する.

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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