電子回折による短時間計測・高精度三次元逆格子マッピング法の開発

実施期間：2012 - 2013
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 物質創成科学研究科, 准教授 )
研究概要：

デバイス用ナノ構造体の結晶構造や配向、歪み評価などに威力を発揮する三次元逆格子マップ作成を、電子回折を用いて短時間で精度良く行う手法を開発する。三次元逆格子マップ作成にX線回折では数ヶ月以上必要とする計測時間を、本手法では数十分に短縮することができる。現在、本手法で結晶構造の判別や複雑な配向を明らかにしてきているが、開発前の装置ではその歪み評価精度が約1%と大きかった。本課題では、実用化に向け0.1%の精度を目標とし、装置の改良により0.1%以下の精度を得ることができた。今後、実用化に必要な0.01%以下での精度と同時に、一般ユーザー向けに結晶構造や配向、歪み評価の自動解析プログラムの開発をも目指す。

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研究制度：＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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