研課題
J-GLOBAL ID:202104019194988424  研究課題コード:08005700

ホーリーファイバーを用いた高効率連続波真空紫外光源の開発

実施期間:2005 -
実施機関 (1件):
企業責任者:
研究概要:
65nmノード以降の次世代半導体LSI製造過程においては、LSIパターンの原案であるマスク・レチクルの欠陥検査装置、およびウェハ概観検査装置において、連続波(CW)の真空紫外レーザー光源(波長200nm未満)が必須となる。本研究においては、次世代半導体製造技術のキーコンポーネントの一つとして実用化が待望される真空紫外レーザー光源の実現を目的とする。本研究では、大型・非効率なアルゴンレーザーを、新ファイバーレーザー技術ならびに新非線形光学技術を用いて全固体化し、最終波長198.5nmを全固体装置として完成する。具体的には、ダイオード(LD)励起ホーリーファイバーレーザーによる976nm帯赤外光を、擬似位相整合素子(QPM)による可視(488nm)CW波長変換、CLBO結晶を用いた外部共振器によるUV(244nm)波長変換、CLBO結晶を用いた和周波混合(ファイバーレーザー1064nm光混合)波長変換して198.5nm光を得る。開発要素は、ホーリーファイバーを用いたLD励起976nm光源、QPM素子による可視CW波長変換、CLBO結晶を用いた外部共振器高性能UV波長変換である。
タイトルに関連する用語 (4件):
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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