ワンチップ型バルク弾性波式メタノール濃度センサの開発

実施期間：2011 - 2012
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 自然科学系大学院自然科学研究科, 教授 )
研究概要：

本研究の目的は、バルク弾性波式でその振動特性を損なわずに小型化でき、かつ汎用品の流用で安価に製造可能な新原理のメタノール濃度センサを実現することである。センササイズと分解能の関係を特別なMEMS加工なしで作製したセンサと市販品を流用し作製した発振回路を用いて明らかにした。市販品のレベルに相当する0.1 wt %以上の検知ができるセンサを30 mm^2程度の面積に小型化できることが明らかになった。また、MEMS加工を加えることで分解能をさらに改善できることを実証した。本センサは、メタノール濃度センサ以外の用途の超小型液体センサとしても期待される。

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研究制度：＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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