透明固体基板の内部微細加工技術の拡張

実施期間：2009 - 2009
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院ソシオテクノサイエンス研究部, 准教授 )
研究概要：

申請者らは、フェムト秒レーザーを用いてガラス等の透明固体材料の内部にマイクロメートルオーダーの空間分解能で自由な形状の空洞を作製する技術に関する研究を行ってきた。この技術を用いてシリカガラス内部に可動構造物を内包する空洞を作製し、その可動構造物を非接触で回転させることに成功した。本申請研究では、この技術をさらに発展させるため、より安全なエッチング液を用いての加工技術の確立と、新しい被加工材料の開拓を目指す。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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