研課題
J-GLOBAL ID:202104019757914430  研究課題コード:15668060

ナノオーダ微細形状精度・微細壁面粗さ測定用 極小径スタイラス製作技術の開発

体系的課題番号:JPMJTM15JF
実施期間:2015 - 2016
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , 国際環境工学部 )
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

前のページに戻る