研課題
J-GLOBAL ID:202104019823011790  研究課題コード:09158950

ライン型高密度大気圧プラズマ源による非晶質薄膜の大面積結晶化技術開発

実施期間:2009 -
実施機関 (2件):
企業責任者:
研究責任者: ( , 大学院理工学研究科, 教授 )
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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