研課題
J-GLOBAL ID:202104019826708317  研究課題コード:11103929

ヘテロ修飾構造を有するFePtナノドットパターンと超テラビット記録

実施期間:2011 - 2012
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , 大学院工学資源学研究科 )
研究概要:
超テラビット磁気記録を目指してFePt/FeCoドットパターンの研究を行った。まずFePt膜作製→急速加熱熱処理→リソグラフィー/イオンミリング→再熱処理からなるパターン作製プロセスを開発した。次いでFePtドット群について、ドットの結晶構造と磁気特性の相関を調べた。L10規則度と[001]配向性に優れたドットの反転磁場は50-60kOeであることを明らかにした。FePtドットにFeCoを積層したFePt/FeCoドットパターン(ドット直径:15~100nm、FePt厚:6nm、FeCo厚:1~2nm)を作製した。FePt/FeCoパターンの保磁力は約30kOeであり、FePtの保磁力50-60kOeより低下し、磁化反転プロセスは活性化体積の磁化反転->磁壁移動によるドット磁化反転であると結論した。実用性を考慮し、FeCo層の最適化により保磁力を20kOe以下とし、また熱磁気書き込みに有効な温度特性を有するFePt/FeCoビットパターンの開発を継続する。
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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