研課題
J-GLOBAL ID：202104019939628417  研究課題コード：08068980

段差被覆性に優れたIr系薄膜形成技術の開発

実施期間：2008 - 2008
実施機関 (1件)：
兵庫県立大学

兵庫県立大学 について


研究代表者：
藤澤 浩訓

藤澤 浩訓 について

(
兵庫県立大学

兵庫県立大学 について

, 大学院工学研究科電気系工学専攻, 助教 )
研究概要：
1トランジスタ-1キャパシタ(1T-1C)型の不揮発性強誘電体メモリ(FeRAM)の高集積化のためには三次元立体強誘電体キャパシタの形成技術の確立が急務である。本申請課題では、1T-1C型FeRAMへの応用を目的として、段差被覆性に優れたIr系電極薄膜形成技術(有機金属化学気相堆積法)の開発に取り組む。
タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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段差

段差 について

, 
Ir

Ir について

, 
薄膜形成技術

薄膜形成技術 について

, 
開発

開発 について

研究制度：
産学が連携した研究開発成果の展開

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研究所管機関：
国立研究開発法人科学技術振興機構

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