マイクロナノ構造体成形に適した電鋳材料の開発

実施期間：2007 - 2007
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 機械電子・金属材料担当, 技師 )
研究概要：

電鋳技術は精密な転写性を有していることから、MEMS(微細電気機械システム)といった最先端技術に応用されている。しかし従来の電鋳材料であるニッケルや銅では1強度不足、2耐久性不足、3材料組織の不均一性などの問題があり、さらなる微細成形品へ応用するには問題があった。そこで、上記3点の問題点を解決する様な、マイクロナノ構造材料に適した電鋳材料の開発を行う。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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