研課題
J-GLOBAL ID:202104020022314390
研究課題コード:12102512
太陽電池用多結晶シリコン薄膜の高生産性技術の開発
実施期間:2012 - 2013
実施機関 (1件):
研究責任者:
(
, グリーンデバイス研究センター, 准教授 )
研究概要:
ミリ秒台の瞬間熱処理法であるフラッシュランプアニール(FLA)により、電子線(EB)蒸着により製膜した非晶質シリコン(a-Si)膜を結晶化することで、ガラス基板上に、膜厚2 μm以上、横方向に数10 μm延伸した大粒径結晶粒からなる多結晶シリコン(poly-Si)膜を得られる。このpoly-Si膜の亀裂抑止と欠陥低減について研究を行い、高圧水蒸気熱処理により、1016 /cm3台まで欠陥密度を低減できることを明らかにした。また、膜厚を変化させることにより、結晶化機構および結晶粒径が変化する現象を見出した。今後、亀裂抑止技術を確立することで、薄膜結晶Si太陽電池への応用につながると期待される。
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
,
,
,
研究制度:
>
>
>
研究所管機関:
前のページに戻る