研課題
J-GLOBAL ID:202104020078551335
研究課題コード:08069979
アセンブリフリー単一マスク回転傾斜露光法の開発とバイオ応用
実施期間:2008 - 2008
実施機関 (1件):
研究代表者:
(
)
研究概要:
本研究では、従来のMEMSプロセスにおいて技巧的問題であったアライメントやボンディングを不要とする作製技術として、特殊なパターン設計を行ったマスクを用いて傾斜と回転を組み合わせた多段階露光により複雑な3次元形状を作製する方法を提案し、実用化を目的とした構造物の微細化と高度化について検討すると共に、応用例として、遺伝子解析研究の高機能ツールとなる染色体DNA伸長固定デバイスの高密度集積化についても検討する。
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
,
,
,
,
研究制度:
>
>
>
>
研究所管機関:
前のページに戻る