研課題
J-GLOBAL ID:202104020280133685
研究課題コード:7700000963
量子分子動力学法に基づく化学反応対応型連成現象シミュレータの開発
体系的課題番号:JPMJPR03J2
実施期間:2003 - 2006
実施機関 (1件):
研究代表者:
(
, 大学院工学研究科, 助教授 )
DOI:
https://doi.org/10.52926/JPMJPR03J2
研究概要:
超微細化が進む半導体プロセスでは原子レベルでの化学反応を伴う連成現象の解明が必要です。本研究は量子分子動力学法と非平衡分子動力学法の統合化を行い、種々の連成現象を解明可能とする化学反応対応型連成現象シミュレータの開発を行うものです。本研究により、従来は不可能であった全く新しい製造プロセス設計、材料設計の実現を目指します。また、マルチスケールシミュレーションの実現にも貢献が期待できます。
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
,
,
,
,
研究制度:
>
>
上位研究課題:
シミュレーション技術の革新と実用化基盤の構築
研究所管機関:
報告書等:
前のページに戻る