銀薄膜微細構造の作製とサイズ効果の検討

実施期間：2007 - 2007
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 工学部機能材料工学科, 助教授 )
研究概要：

現在の銅配線において、線幅の減少に伴う急激な配線抵抗の増大が問題視されている。一方、銀は金属中で最も低抵抗であり、またEM耐性も優れるとの研究報告例もあるが、未だ新規配線材料として現実味を帯びていないのが現状である。本課題では、銀配線構造を作製し、その抵抗率と線幅との関係の調査を目的とする。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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