研課題
J-GLOBAL ID:202104020786798898  研究課題コード:11104397

独自の気相濾過・転写法に基づく高性能カーボンナノチューブTFTのばらつき抑制

実施期間:2011 - 2012
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , 工学研究科, 准教授 )
研究概要:
カーボンナノチューブ薄膜トランジスタ(CNT TFT)は高い移動度と化学的安定性、柔軟性を併せ持ち、フレキシブルエレクトロニクス応用が期待されている。一方で、実用化に向けては素子特性の均一性の確保が最重要課題である。本研究では、プラスチック基板上に高移動度のCNT TFTを高速かつ簡単に実現できる独自の気相濾過・転写法を発展させ、高純度半導体CNTの高均一薄膜を実現する液相濾過・転写法を新たに確立した。その結果、オン電流としきい値のばらつきの小さいCNT TFTを得ることに成功した。今後は、分散剤除去技術や安定化技術などの材料・素子技術に加え、大面積化技術やロール・ツー・ロールプロセス適応化技術などのプロセス技術を開発し、ディスプレイなどへの応用展開を目指す。
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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