研課題
J-GLOBAL ID:202104020865691543  研究課題コード:19216467

トラック型熱プラズマによるパワー半導体SiC表面の新しい超高速大面積改質

体系的課題番号:JPMJTM19F6
実施期間:2019 - 2020
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 理工研究域 )
研究概要:
「レーストラック型-線状誘導熱プラズマ」を開発し,基板上に,より長い熱プラズマを実現し,超高密度の原子およびラジカルを一様に直接基板に照射する「大面積・超高速表面処理技術」を提案する。
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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