研課題
J-GLOBAL ID:202104020975448598  研究課題コード:19198202

パワー半導体・多糖ナノファイバー高速研磨&鏡面化アシスト材 ~機械研磨-化学機械研磨ワンストップ高速研磨・鏡面化システムの開発

体系的課題番号:JPMJTR192E
実施期間:2019 - 2021
実施機関 (1件):
企業責任者: ( , 技術部開発グループ, グループ長 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTR192E
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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