パラジウム-窒化物半導体接触型高感度水素ガスセンサの高信頼性化

実施期間：2009 - 2009
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 都市教養学部, 助教 )
研究概要：

クリーンエネルギー源として期待されている水素を、多様な環境下で安全に利用するためには、高感度・高速検知可能で無線通信機能を有するユビキタス水素ガスセンサが必要である。そこで、電界効果トランジスタ型センサが期待されているが、湿度や他ガスによる検知特性劣化が問題となっている。本研究では、雰囲気状況を同時モニタすることで検知特性を補償する機構および提案する超高感度センサとの集積化プロセスの開発を目指す。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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