研課題
J-GLOBAL ID:202104021049570475  研究課題コード:09156654

MEMS技術を応用した集積化2.5次元磁気センサの開発

実施期間:2009 - 2009
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 工学部, 准教授 )
研究概要:
本研究では、小型磁気浮上型モータや,磁気支持フライホール等の回転体軸ブレの計測を行うための、2.5次元計測用集積化磁気センサを開発する。磁気センサは0.18μmCMOSプロセスで作製し、16×16個を格子状に並べる事により磁石を取り付けた軸の位置を測定する。測定対象は3000rpm程度で回転するモータの軸ブレであるため、センサの応答速度を8000フレーム/秒とすることを目標とする。
タイトルに関連する用語 (6件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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